离子渗氮过程中，炉内压力稳定是保证渗氮质量的重要因素。离子渗氮压力自动控制有两种控制方式：
        （1）变频控制：
        由真空计、工控机、变频器和真空泵电动机组成炉内压力闭环自动控制系统，采用PID自动调节真空泵的转速来实现炉内压力自动控制。
        （2）比例调节阀：
        由真空计、工控机、比例调节阀组成炉内压力闭环自动控制系统，采用PID自动调节，通过调节蝶阀的开启角度改变真空泵的抽气速率来实现炉内压力自动控制。
        由于国外多采用高速直联真空泵，无法进行变频调速，所以国外多通过比例调节阀自动控制炉内的压力。
        青岛丰东热处理生产的离子渗氮设备配备二级真空系统，通过工控机、PLC，自动整定PID参数，使外辅助加热式离子氮化炉内压力实现闭环自动化控制，压力稳定无突变。