1、渗氮装置及附属设备：
（1）真空计、测温仪表、热电偶应定期校对。
（2）定期检查压升率。
（3）定期清洗真空泵，擦洗观察窗玻璃。
（4）水管、气管应畅通无泄漏。
2、气源：
（1）应该用液氨的热分解气或氮氢混合气作为气源，
（2）液氨、氮气和氢气必须经减压后使用，减压后压力应恒定，一般不超过20*104Pa。
（3）液氨须经过干燥后使用（用分子筛或硅胶吸水），氮氢气的纯度（体积分数）应大于99.8％。
3、工夹具及防渗：
（1）根据零件形状，尺寸，重量准备专用或通用夹具，防渗部位要用钢制的套，堵头，螺钉等加以屏蔽，工夹具与屏蔽物必须接触良好，与零件间形成的间隙应小于0.5MM。不允许在防渗部位采用镀铜，镀锡或覆盖非金属如水玻璃，陶瓷等，
（2）一般吊挂件下部，堆放件的上部，应增设辅助阴极或阳极，以保证零件温度均匀性。
4、试样：试样材料及预先热处理与零件相同，检验面的粗糙度Ra应小于0.8μn ，并尽量将大小厚薄，渗层要求相同的零件同装一炉。
5、零件：
（1）零件表面粗糙度Ra应小于1.6μn，倒棱.尖角去除毛刺，表面不得有脱碳层，氧化皮和锈斑，
（2）轴类零件应抽查变形量，经向圆周跳动量应小于渗氮后磨削量的1/2。
（3）零件表面和内孔应用除锈剂，洗涤剂清洗干净后方可入炉。
（4）零件与阳极的距离最好相等。多件生产时，零件最好放在同一直经的圆周上，中间不放工件，零件间巨大于20MM。
（5）长零件应垂直吊放，非工作面允许接触，但不得形成辉光集中的间隙。
（6）热电偶测温头要放在有代表性的位置，检查阴极引线.热电偶引线及阴极支座处是否均匀，不能短路和间隙过大。
（7）离子渗氮前的零件都要进行高于渗氮温度30-50℃的人工时效或低温退火.高温回火等去应力处理。
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