渗氮前去除应力工件对减少离子渗氮变形起着十分重要的作用，因为它能消除前面锻造、调质（或正火）及机加工时造成的大部分内应力。一般应用略低于回火温度的高温时效处理。如处理后变形超差，校直后再次按原工艺时效以消除校直时造成的应力，直到变形量合格为止。细长件、薄壁件、复杂件和精密零件必须进行一次或多次去应力处理。
        为减少除应力处理加热时零件表面造成的氧化，此道工序在离子渗氮炉内进行。炉内可以充以稀薄的空气进行辉光加热。其氧化程度比在一般空气炉内轻得多。如能充以氢气则更好。零件经去应力处理后可以获得最小的离子渗氮变形。
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